FC-R7810CD質(zhì)量流量控制器
簡(jiǎn)要描述:FC-R7810系列不僅能提供高精度流量控制
- 產(chǎn)品型號:
- 廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間:2023-10-14
- 訪(fǎng) 問(wèn) 量:1113
FC-R7810系列不僅能提供高精度流量控制。
采用金屬材質(zhì)密封具備優(yōu)異的低泄漏特性,可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業(yè)通用和AE*電氣信號可選方案,可方便對用戶(hù)使用的質(zhì)量流量控制器(MFC)進(jìn)行替換,操作簡(jiǎn)單。
特點(diǎn):
◆高精度
◆高信賴(lài)和可靠性
◆耐腐蝕設計
◆采用金屬密封材質(zhì)
◆VCR、Swagelok互換的氣路接口
◆10SCCM-200SLM滿(mǎn)量程范圍
◆方便的互換性
◆高速應答***的統一性,目前世界上有大約7萬(wàn)只在運行中的產(chǎn)品,內的返修率不到0.5%,廣受客戶(hù)贊譽(yù)
◆方便的互換性
技術(shù)參數:
性能指標 | FC-R7800CD/FC-R7800D系列
| FC-R7810CD/FC-R7810D系列
| FC-R7820CD/FC-R7820D系列
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滿(mǎn)量程范圍
| 10Sccm-5Slm | N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** | 35-200Slm |
響應時(shí)間 | 滿(mǎn)流量的±2%范圍內,小于2秒 | 滿(mǎn)流量的±2%范圍內,小于3秒 | |
精度 | ≤±1%滿(mǎn)量程 | ≤±2%滿(mǎn)量程 | |
線(xiàn)性鍍 | ≤滿(mǎn)量程±0 5% | ≤滿(mǎn)量程±0 5% #1 | ≤滿(mǎn)量程±1% |
重復性 | ≤滿(mǎn)量程±0.2% | ||
泄漏率 | 1X10E-11 Pa.m ?/sec | ||
控制范圍 | 滿(mǎn)流量的2%-5% #2 | ||
壓差 | 49Kpa-275Kpa
| 69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa | 147Kpa-275Kpa
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正常工作壓 力 | 490Kpa
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進(jìn)氣壓力 | 980Kpa
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溫度范圍
| 5-45℃(41-113℉)
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輸入電源
| +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA | +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA | |
功率 | 3.1W max | 3.5W max | |
輸入信號 | 0-5 VDC | ||
輸出型號 | 0-5 VDC | ||
控制閥形式 | 常開(kāi)或常閉電磁閥 | ||
密封件 | 金屬密封 | ||
材質(zhì) | 316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠) | ||
標準接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR | |
重量 | 1.0KG | 2.7KG |
#1滿(mǎn)量程流量值大于30SLM線(xiàn)性度≤滿(mǎn)量程±1%
#2滿(mǎn)量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***
#3滿(mǎn)量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa