SEC-N112 數字式質(zhì)量流量控制器
簡(jiǎn)要描述:概要基于多年來(lái)技術(shù)產(chǎn)品的市場(chǎng)發(fā)展經(jīng)驗,我們提供了一系列滿(mǎn)足客戶(hù)需求的質(zhì)量流量計產(chǎn)品
- 產(chǎn)品型號:
- 廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間:2023-10-14
- 訪(fǎng) 問(wèn) 量:1017
概要
基于多年來(lái)技術(shù)產(chǎn)品的市場(chǎng)發(fā)展經(jīng)驗,我們提供了一系列滿(mǎn)足客戶(hù)需求的質(zhì)量流量計產(chǎn)品。
氣體被廣泛地運用于各種工業(yè)領(lǐng)域,從太陽(yáng)能電池、燃料電池的研究和制造,這一獲得巨大關(guān)注的再生能源項目得到了各地的支持;到半導體、液晶面板和在電子行業(yè)中使用的發(fā)光二極管(LED)的研究和制造。在這些制造工藝中,對各種氣體的流量進(jìn)行準確的測量和控制顯著(zhù)地提高了工作效率,進(jìn)而節約了能源和提高了生產(chǎn)力。HORIBA STEC致力于質(zhì)量流量計的發(fā)展,為的制造工藝,包括半導體、光電和LED的制造提供服務(wù),并將繼續開(kāi)發(fā)新的產(chǎn)品來(lái)滿(mǎn)足客戶(hù)的需求。
型號
10sccm | 10SLM | 20SLM | 100SLM | 200SLM |
SEC-N102 | SEC-N112 | SEC-N122 | SEC-N132 | SEC-N142 |
SEC-N104 | SEC-N114 | SEC-N124 | SEC-N134 | SEC-N144 |
SEC-N106 | SEC-N116 | SEC-N126 | SEC-N136 | SEC-N146 |
特征
HORIBA STEC可以提供滿(mǎn)足您需求的全套產(chǎn)品。
型號 | 選擇信號傳輸模式 | 選擇電源 |
SEC-N102 系列 | 數字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議 模擬式信號傳輸 ?0~5VDC | ±15VDC (±5%) HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的電源產(chǎn)品。 |
SEC-N104 系列 | DeviceNet 信號傳輸 | 遵照ODVA標準 |
SEC-N106 系列 | PROFIBUS 信號傳輸 模擬式信號傳輸 ?0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA | 遵照PROFIBUS標準 |
此型號適合各種小流量到大流量的需要。
流量控制范圍為標定滿(mǎn)量程的2~99%
高精度
■高精度(設定點(diǎn)為基準)MFC的線(xiàn)性度將由近似多項式曲線(xiàn)進(jìn)行補償。這幫助實(shí)現了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實(shí)際氣體流量的準確性進(jìn)一步提高,各種工藝氣體的校準數據將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統進(jìn)行校驗。
整個(gè)流量控制范圍內都可實(shí)現高響應速度
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response的可變PID運算法則:1秒高速響應 SEC-N100 系列搭載了開(kāi)發(fā)的“可變PID系統”,對于所有設置點(diǎn)它可以實(shí)現1秒內的高響應速度。當您改變標定滿(mǎn)量程和氣體種類(lèi)時(shí),可變PID將根據當下的設定點(diǎn)不斷變化,其PID參數也將隨之被優(yōu)化。
多氣體、多量程的解決方案
■專(zhuān)用的軟件賦予用戶(hù)可以自由更改規格的能力 的多氣體、多量程系統使用戶(hù)自由變更氣體種類(lèi)和量程成為可能。
致力于成本考量,運用新的設計概念
作為N100系列的替代,HORIBA STEC也可以提供具備超潔凈處理以及壓電陶瓷閥門(mén)的Z500系列產(chǎn)品。請注意,在沒(méi)有通知的情況下,可能會(huì )對某些需要提高生產(chǎn)率的部件和產(chǎn)品工藝做出修改,但不會(huì )牽涉到改變產(chǎn)品的規格。